股票代码:301095
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工艺开发测试设备
应用于技术研发阶段,大幅提升测试效率和精度
简介

半导体行业发展迅速,技术的不断更新迭代,使得摩尔定律可以继续延续。技术研发在半导体行业具有重要意义,通过不断改进半导体材料、工艺和器件设计,可以提高芯片的性能,如速度、功耗、集成度等,从而推动整个电子产品的发展。

在技术研发阶段,需要进行大量电性参数测试,以此来反应器件、工艺是否符合要求。99905银河测试设备测试效率高、精度高,适用于各类应用场景,包括SPICE模型测试、可寻址测试和可靠性测试等,为半导体行业的技术研发提供了可靠支持。

 

 

设备优势

测试效率高
可实现单条Module或多条module同时扎针的并行测试
测试精度高
电流精度为0.1pA,电流分辨率可选配到0.1fA
与Addressable设计协同
大幅度提升测试效率,快速定位到器件或工艺问题

基本配置

TD Tester T4000 (48/100 pin)*
Standard Resources HR_SMU+HS_SMU (18~36)
Pulse generator (2/4)
Signal analyzer (2)
Switch matrix
LCR Meter (1/2)
Number of measurement pins 48/100
Voltage Coverage ±200 V
Current Coverage ±1 A
Voltage measure sensitivity 100 nV
Current measure sensitivity  0.1fA
Voltage measure accuracy 100uV
Current measurement accuracy 0.1 pA
Maximum SMU sample rate 1.8M samples/sec
Capacitance measurement accuracy 10 fF
RO Frequency Coverage ~ 20MHZ
Measurement Functions DC Current / DC Voltage / Kelvin / Capacitance / Inductance
AC Current / AC Voltage / Differential Voltage / Frequency
Arbitrary Waveform / Clock Generation /
Synchronization (triggering mode) / C-V scan


Typical Supported Test Items
Addressable (Transistor Array/ Yield Array/Ring Oscillator
Array/CBCMOVCMDenseArrayHYDS)
ID/VT/VTGM/IOFF/ISUB/BV/CAP//ICP
BETA/VBE/BVCEO/BVCBO/BVEBO
R2/RKLV/LK/CAP_METAL
IREAD/ISTANDBY/IDDQ/WM/SNM
ERASE/PROGRAM
  IDDA/IDDQ/FREQ
  IDDA/IDDQ/FREQ
Mean time between failures (MTBF) > 1000 hours
Mean time to repair (MTTR) < 6 hours
Uptime rate ~ 97%

 

# Can select based on user needs
* Both T4000 and T4100S can support WLR test if upgrading software
This table shows recommend testers at different application, if you have other requirements, please contact us.

测试软件

使用界面友好
Algorithm使用 TCL/C++ 语言
支持导入/导出 excel/txt 格式的规范文件
提升测试速度
自动对初始化条件相同的测试项目进行分组
自动化
与Fab的 EAP 系统自动运行集成
可定制数据格式(.lot、.csv、.ad5 等)
其他强大功能
通过虚拟硬件环境在 PC 上进行验证
调试模式使Algo调试更简单、更高效
自动重新测试可能存在探测问题的失败测试项目
直接导入Baseline Testplan
实时显示
处理早期报警和低产量问题
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