股票代码:301095
联系我们
晶圆级电性参数测试设备
为研发、量产和可靠性测试提供高效和精确的电性参数测试

晶圆级电性参数测试设备

在集成电路的产品开发、工艺制造和产品验证过程中,对电性参数测试的需求日益提高, Semitronix 99905银河经过十余年,自主研发高效电性参数测试设备和解决方案,已成功进入多家内外领先的芯片设计类(Fabless)企业、代工制造类 (Foundry)企业、垂直整合制造类(IDM)企业和研发实验室(R&D Lab),协助完成多种测试任务,并且高效、精确地提取器件和工艺相关的电性参数,实现以数据驱动芯片产品的功耗-性能-面积-成本(PPAC) 优化、可靠性以及成品率提升。
目前,Semitronix99905银河现有的测试应用场景包括:高并行 R&D测试、高效WAT 量产测试,以及可靠性 WLR 测试,在未来将逐步增加测试设备种类,拓展到其他测试应用场景。

技术优势

设备测试性能
● 电流:测试精度0.1pA以下,最小分辨率0.1fA,最大范围1A
● 电压:测试精度0.1mV以下,最小分辨率0.1 µV,最大范围200V
● 电容:测试精度0.01pF,最大范围100nF, 支持C-V扫描
● 高效的测试产能(Throughput): 1.4X-5X
● 支持超并行测试能力,提高测试效率
测试软件
● Algorithm Builder: 基于TCL语言的算法编辑
● Test Plan Editor: 根据测试需求,简便地做出test plan
● Framework: 强大的测试结果预警和处理机制
● Low Yield Management System 良率管理系统(LYM)
● 支持可靠性Wafer Level Reliability (WLR) 测试,扩展测试机通用性
工厂自动化
● 支持与各类Prober(TEL/TSK/Sidea/Semishare…)集成
● 符合SEMI标准,实现EAP GEM 300标准自动化测试流程
● 支持E5 E30 E37 E39 E40 E87 E90 E94 E84 等协议
主要特点
  • 为客户在程序控制过程中提供准确且高度自动化的测试解决方案
  • 提供两种操作方式:在线测试、离线测试
  • 根据前期测试结果能够让工程师灵活地改变测试计划的细节
  • 方便地控制晶圆探针台并制定测试框架的执行流程
  • 涵盖所有WAT测量项目:MOSFETs (Id, Vt, Ioff…), BJT, diode (breakdown), resistors, capacitors, etc.
  • 自主研发高性能硬件配置方案和电路结构设计,快速的并行测试技术平衡优化了测试速度及精度,连续采样率高达1.8M samples / 秒

基本配置

  • T4000系列

    通用型WAT测试设备
    使用于大部份WAT电性测试场景

  • T4100S系列

    并行测试设备
    大幅提升测试效率
    可满足先进工艺中繁杂多样的测试要求

  • T4100S系列-copy-1678252710

    并行测试设备
    大幅提升测试效率
    可满足先进工艺中繁杂多样的测试要求

Tester T4000系列 T4100S系列 T4100S系列-copy-1678252710
#of PINs 24 to 28 22to 28 22to 28
#of SMUs 6 to 12 (shared SMU) 22 to 48 (per pin) 22 to 48 (per pin)
#of LCR 1 1 to 2 1 to 2
#of PGU 2 2 2
Parallel testing support Yes Yes Yes
Throughput(WPH) ~1.3x-2x ~1.5x-5x ~1.5x-5x
XML 地图